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切記！愛德華真空泵維修時必須遵循專業(yè)規(guī)范

點擊次數(shù)：68 更新時間：2025-12-09
 　　愛德華真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科研實驗、醫(yī)療設(shè)備及鍍膜工藝等對真空度、潔凈度和穩(wěn)定性要求高的領(lǐng)域。其產(chǎn)品涵蓋旋片泵、干式螺桿泵、渦輪分子泵等類型，結(jié)構(gòu)精密、材料特殊。一旦出現(xiàn)故障，若維修操作不當(dāng)，不僅難以恢復(fù)性能，還可能造成二次損壞或安全隱患。因此，愛德華真空泵維修時必須遵循專業(yè)規(guī)范，做到安全、原廠、細(xì)節(jié)。

 


　　一、愛德華真空泵維修前準(zhǔn)備
　　斷電與泄壓：務(wù)必切斷主電源，并通過排氣閥釋放泵腔內(nèi)殘余真空與壓力，防止意外啟動或油液噴濺；
　　冷卻等待：運行后的泵體溫度可達80℃以上，需靜置至室溫再拆卸，避免燙傷或熱變形；
　　查閱手冊：嚴(yán)格參照維修指南（如iGLX、nXDS系列手冊），確認(rèn)拆裝順序與專用工具要求。
　　二、核心注意事項
　　嚴(yán)禁非授權(quán)拆解
　　愛德華真空泵多采用模塊化密封設(shè)計，內(nèi)部軸承、轉(zhuǎn)子間隙精度達微米級。非專業(yè)人員強行拆卸易導(dǎo)致動平衡破壞、密封失效。建議僅由經(jīng)認(rèn)證的技術(shù)人員操作，或返廠維修。
　　使用原廠備件
　　油封、O型圈、葉片、潤滑油等必須選用原廠配件。劣質(zhì)替代品可能導(dǎo)致：
　　油品不兼容引發(fā)碳化堵塞；
　　密封件耐溫/耐化學(xué)性不足，造成泄漏；
　　軸承公差不符，加劇振動與磨損。
　　潤滑油更換規(guī)范
　　排油時趁熱進行，確保舊油及污染物排出；
　　使用固定型號真空油（如Edwards ULTRAGRADE 15/19）；
　　加注量嚴(yán)格按刻度線，過多導(dǎo)致過熱，過少引起潤滑不足。
　　防污染與潔凈操作
　　維修環(huán)境應(yīng)保持無塵，所有工具、零件用無絨布覆蓋。尤其在半導(dǎo)體或醫(yī)療應(yīng)用中，微粒污染會直接導(dǎo)致工藝失敗。裝配前用高純氮氣吹掃腔體。
　　電氣與安全聯(lián)鎖檢查
　　干泵常集成溫度、振動、壓力傳感器。維修后需測試：
　　過熱保護是否觸發(fā)；
　　反向旋轉(zhuǎn)報警功能；
　　急停按鈕響應(yīng)速度。